АНАЛІТИЧНЕ УСТАТКУВАННЯ У СКЛАДЧИНУ

Вивчення фізичних процесів у структурах наноелектроніки, створення приладів на основі нанотехнологій неможливі без застосування точних аналітичних методів дослідження їхніх фізико-хімічних, електрофізичних та інших параметрів.

В Україні відчувається дефіцит аналітичного устаткування, необхідного для комплексних досліджень у сфері нанофізики та наноелектроніки. Водночас базові умови для вирішення цього завдання в нашій країні є. Так, протягом 1986—1991 рр. з метою створення нового покоління виробів мікроелектроніки (надвеликі інтегральні схеми з мінімальними розмірами елементів менше одного мікрона) колишнє МЕП СРСР закупило три комплекти новітнього на той час імпортного аналітичного устаткування. В Україні єдиним таким комплектом був оснащений Центр фізико-хімічних досліджень «Мікроаналітика» НДІ мікроприладів у Києві — одне з провідних підприємств країни в галузі розробки елементної бази мікроелектроніки. Комплексне застосування цього устаткування на основі розроблених фахівцями центру методик досліджень значною мірою сприяло створенню та впровадженню у виробництво складних виробів мікроелектроніки.

На сьогодні, попри складнощі з фінансуванням, у центрі збережено значну частину устаткування, а його працівники розвинули й розширили методичну базу досліджень, якомога більше враховуючи вимоги сучасних технологій. Центр, як і раніше, єдиний у країні науково-технічний комплекс, спроможний вирішувати практичні завдання дослідження та контролю сучасних наукомістких виробів електроніки. До них, зокрема, належить контроль технології напівпровідникових приладів, що випускаються, аналіз їх відмов, дослідження та контроль мікроелектронних компонентів рівня 0, 1—0, 2 мкм, вивчення надтонких (нанорозмірних) технологічних шарів, локальних електрофізичних параметрів та структурно-домішкових дефектів у напівпровідникових матеріалах і структурах.

Тому науково-технічний потенціал центру може й повинен бути затребуваний для вирішення практичних завдань наноелектроніки. Залучення центру до цієї тематики економічно вигідне, оскільки замість закупівлі нового комплексу аналітичного устаткування в ряді випадків буде потрібний ремонт, доукомплектування та модернізація наявного.

Сьогодні науково-дослідні організації НАН і вузів України, а також галузеві науково-дослідні КБ через високу вартість не мають можливості використовувати унікальне аналітичне устаткування центру, тим самим знижуючи рівень досліджень. Ми пропонуємо в рамках Національної академії наук, МОН і Мінпромполітики забезпечити базове фінансування накладних витрат центру, що істотно знизить вартість проведення аналітичних робіт. Крім того, зниження витрат на проведення досліджень можна буде досягнути, включивши центр «Мікроаналітика» до складу наукових об’єктів, що становлять національне надбання.

Задля ефективнішого використання потенціалу центру «Мікроаналітика» державного підприємства НДІ мікроприладів Міністерства промислової політики на його базі доцільно створити центр аналітичних досліджень наукомістких технологій колективного користування. У такому разі можливості центру максимально використовуватимуть підприємства й організації Мінпромполітики, Національної академії наук, Національного космічного агентства та інших відомств.

Таке рішення, при збільшенні кількості замовлень та при необхідному рівні фінансування, дасть можливість зберегти й удосконалити устаткування, яке є в центрі, розширити діапазон його застосування, а головне — використовувати його для розвитку в Україні наукомістких технологій, включно з дослідженнями та розробками, передбаченими розроблюваною «Державною національною програмою розвитку високих наукомістких конкурентоспроможних технологій у промисловості».